晶圓芯片外觀自動(dòng)檢測(cè)AOI
彤光晶圓芯片外觀AOI設(shè)備利用CCD成像技術(shù),采集芯片正反面圖像,再利用彤光WFVS軟件系統(tǒng)并集成AI智能學(xué)習(xí)模塊對(duì)相機(jī)采集到的圖像進(jìn)行分析,模擬人眼的視覺特性,自動(dòng)多方位檢測(cè)芯片上的缺陷。
晶圓芯片外觀AOI設(shè)備應(yīng)用范圍廣,成功應(yīng)用于tvs,晶閘管,miniLED芯片,microLED芯片,IGBT芯片,整流二極管等外觀缺陷檢測(cè)。
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![]() | 說明: 1、AOI根據(jù)芯片的檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)生成MAP如圖 2、MAP讀取格式為wafermap,生成的MAP格式,包含有圖片,txt和xml 3、不同NG類別可輸出不同bin的要求 (map圖片顏色區(qū)別),同時(shí)可輸出檢驗(yàn)清單,包含不良分bin統(tǒng)計(jì)的數(shù)量 4、還可以根據(jù)客戶的MAP格式要求修訂MAP的內(nèi)容 |
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