肉眼可以察覺的缺陷，圖像處理就是無法檢測。搭載全新算法的晶圓芯片外觀自動(dòng)檢測AOI系統(tǒng)，讓依賴于目視檢測，因照射角度隱約可見的較淺劃傷、凹陷及細(xì)微的瑕疵缺陷無所遁形。

　　內(nèi)容

　　鏡面反射模式的視覺系統(tǒng)，通過獨(dú)特的圖像算法和外觀檢測算法，即使是細(xì)微缺陷，仍可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測。

　　拍攝算法

　　采集圖像是視覺處理的關(guān)鍵，基恩士推出最快142800行/秒拍攝的線型掃描相機(jī)、高速條紋圖案發(fā)光LED光源，一次拍攝生成多張符合不同用途的圖像。

　　外觀檢測算法

　　消除模糊區(qū)域的影響，抽取缺陷位置;檢測復(fù)雜輪廓中產(chǎn)生的毛刺、缺口;針對(duì)工件狀態(tài)和外部環(huán)境所產(chǎn)生的條件變化，開發(fā)提供24種可大幅改善的預(yù)處理功能。